




真空設(shè)備檢漏
檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè),用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質(zhì),從而達(dá)到檢測的目的。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過程中,判斷漏與不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置;在運轉(zhuǎn)使用過程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。
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真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個空間。在各種檢漏應(yīng)用場合中,氫氣檢漏法的出現(xiàn)為您帶來了更大的性能和效率的改善提高機(jī)會。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的
位置,可以通過對可yi位置噴氦并檢驗漏率是否有明顯的上升來完成。
與抽真空方式相反,嗅探方式是通過測量待測器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測器件內(nèi)充入一定氦氣,
封閉測試端口,將嗅探探頭連接至檢漏儀,用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。一旦出現(xiàn)信號響應(yīng),說明有氫氣通過漏孔進(jìn)入被檢件中,從而指示漏孔的位置與大小。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升,便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是,由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進(jìn)行測量的,大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底。這個本底雖可通過置零來清除,但仍會降低嗅探方式的靈敏度(嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。